TiOx溅射靶材旋转靶
TiOx溅射靶材旋转靶
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产品详情
TiOx旋转靶材
应用领域：触摸屏TP、显示器TFT-Lcd、光学镀膜玻璃
性能
| 参数 | 典型数值 |
| 生产工艺 | 等离子热喷涂 |
| 主要成分 | TiOx(x=1.7-1.9) |
| 纯度 | >99.2wt% |
| 密度 | ≥3.6g/cm3 |
| 电阻率 | <1×10-3 Ω·cm |
| 金属杂质含量 | Fe≤350ppm, Cu≤350ppm, Cr≤500ppm, Al≤350ppm, Ca≤500ppm, Zr≤1000ppm. Total≤8000ppm |
| 靶材尺寸 | Maximal OD: 151mm，Length: 4000mm。 |
主体材质
氧化钛
产品概述
触摸屏、显示屏和薄膜太阳能材料所需要的靶材包括：SiAl 靶； ZnAl 靶；Si 靶; AZO靶; ITO靶；Mo 靶;AlNd 靶;NbOx 靶; Mo 靶; 铜铟镓硒系列溅射靶材等。
符号
TiOx
颜色
黑色
纯度
99.99%
品牌
aetoes
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